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MEMS氟利昂气体传感器

MEMS氟利昂气体传感器是7755145金沙登录网注册研发的一款利用MEMS工艺再SI基衬底上制作微热板,所使用的气敏材料是在清洁空气中电导率较低的金属氧化物半导体材料的气体监测设备。具有小巧方便、易于携带、响应速度快、稳定性好、抗震性好等特点。

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